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식각 Down

 

식각.ppt 문서자료 (다운로드).zip

 

 

식각

 

-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻 -반도체 공정 중의 하나 반도체 공정 순서 (참고) 식각

 

등방성(isotropic) → 치수 조절이 힘듬

 

순수한 화학적 반응

 

높은 선택적(Selectivity) 반응

 

원가는 비싸나 장비는 덜 비쌈

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